排水槽模具-预制排水槽模具-卵形排水槽模具

本实用新型的快速排水清洗槽具有导流板，且此导流板设置在槽体底部的排水孔上方，因此可将槽体内的大喷流场转变成数个小喷流场。是提供一种具有导流板的快速排水清洗槽，可改变排水的流场，而将排出喷流场转变成均匀流场。因此，排水槽模具，预制排水槽模具，卵形排水槽模具不仅可改善晶圆振动现象，更可有效消除卵形排水槽模具效应。是在提供一种快速排水槽模具，可将槽体内往排水孔的流体予以分流，使排水更为滑顺。因此，可加快排水速度,提出一种快速排水槽模具，可用以清洗晶圆，此快速排水清洗槽至少包括槽体，其中此槽体包括一个排水孔位于槽体的底部；以及一个使槽体的排出喷流场转变成均匀流场的导流板，固定在排水孔上方的槽体上。依照本实用新型一优选实施例，上述的导流板至少包括一个分流板，排水槽模具，预制排水槽模具，卵形排水槽模具其中此分流板上至少包括有多个分流孔；多个连接部分别固接在分流板的两侧，且这些连接部突出于分流板的底部；多个滑轨，其中这些滑轨与上述的连接部接合而固定在分流板的与连接部接合的两侧的下方，且这些滑轨与分流板的底部之间形成一个活动空间；多个伸缩部分别位于上述滑轨的两端，且这些伸缩部可活动于滑轨与分流板的底部间所形成的活动空间中，而排水槽模具可依槽体的长度调整导流板的长度，以使导流板得以固定在槽体上；以及多个调整元件，排水槽模具，预制排水槽模具，卵形排水槽模具用以将完成长度调整的伸缩部固定在分流板与滑轨之间。其中，上述之分流板还包括一个遮蔽部，当导流板固定在槽体内时，此遮蔽部优选为位于排水孔的正上方,导流板的分流孔可将槽体内往排水孔的冲洗流体先行予以分流，排水槽模具且大部分的排水孔也被分流板的遮蔽部所遮住。如此一来，可将排水的大喷流流场转变成数个小喷流流场，而使快速排水清洗槽内的流场更为均匀。因此，不仅可有效消除晶圆粘贴效应，改善晶圆振动现象，更可使排水更为顺畅，进而提升排水速度。