橡胶条可以胜任。以前的真空镀膜设备用过,对密封槽光洁度有较高要求。
看你用什么真空泵,10^-6Pa油扩散泵难胜任,可能涡轮分子泵才可.
是用分子泵我在这里只是考虑密封的问题!
橡胶条可以胜任。以前的真空镀膜设备用过,对密封槽光洁度有较高要求。
10^-5 没问题吗?这么高的真空度 你们烘烤管道吗?谢谢
没有烘烤~~干泵组合+分子泵可劲抽,管道材料放气率小的呗,-5真的抽到过
看你用什么真空泵,10^-6Pa油扩散泵难胜任,可能涡轮分子泵才可.
有实践经验为证,可以用橡胶类密封,你要抽到这个真空度,橡胶材料肯定是要放气的(注意这不是气孔,只是材料放出吸附的气体),当放气比较充分后,自然就可以达到这个真空度了,像这种超高真空,材料的放气量是很大的。
10^-6Pa已是高真空的范围了,楼主还在考虑橡胶条的气孔,恐怕是牛头对不上马嘴。
主要是这个门盖 每隔几个小时要打开一次用紫铜垫?
10^-6Pa已是高真空的范围了,楼主还在考虑橡胶条的气孔,恐怕是牛头对不上马嘴。