轻薄型 XY 直线电机平台

Aerotech 现已推出一系列集成开放式架构平台 ，具有精确的几何性能和微米 级直线度。此款新型 Planar DLA 平台包括高精度滚柱轴承、精确加工表面和通过刚性轴心驱动的无 接触直线电机，这些特点可以实现 ±0.5µm 的直线度和 ±1.25µm 的平直度。 此款轻薄型平台的设计应用范围宽很广，可用于从高动态双面 LED 晶元加工到准静态光学计量等 各种场合。该系列产品共有九种型号，以满足客户在行程和精确度方面的各种要求。 应用包括： 半导体制造 •电子设备制造 (LEDs) •测试与检验 •激光加工 •金属检验 •微机械加工•纳米技术 •医疗 •实验室 •光学计量 •晶片加工 •计量 •自动化 PlanarDLA 能够以 2 m/s 的速度和 2 g 加速度进行高产能、高精度加工， 具有优异的加工产能 和低廉的集成成本。它能够达到很高的伺服带宽，同时保持最大的有效通光孔径，并保持最小的整体高度。 Aerotech 的专属直接驱动技术提供高速度和精确定位功能，而且具有免维护和使用寿命长等特点。 这些平台每轴配备有一个或两个电机，使每个轴针对具体的应用和过程达到最优化。 Aerotech 是全球领先的定位和运动控制产品供应商，其服务对象包括工业、政府、科研和研究机构。 其产品为那些对于高定位精度、高产能运动控制解决方案有着苛刻要求的应用场合提供了至关重要的特性。