PI光学镀膜设备系列

2、装载腔室装载的同时镀膜工艺腔室同步进行抽真空，极大缩短了镀膜前处理时间，提高工作效率； 4、传动采用磁导向，保障传动的稳定性。采用变频调速电机驱动，运行速度可调节。 1、PIC配有高效的电磁扫描系统和过滤系统，离子束能量和方向可调，可将等离子体中的杂质颗粒、宏观粒子、大型离子团等过滤干净，经过磁过滤后沉积粒子的离化率为100%，并且可以过滤掉大颗粒，因此制出的纳米薄膜非常致密且平整光滑，抗腐蚀性能好，与工件的结合力很强，在均匀性、致密性、结合度、硬度、摩擦系数、改变物质表面结构和消除薄膜颗粒等方面取得里程碑式的突破； 3、作为纯离子镀膜重要应用之一的类金刚石DLC镀膜，膜层可以达到75%以上的（金刚石键）SP3键，其物理化学性质和金刚石极其类似，所以薄膜具有极高的硬度（>75GPa）,极低的摩擦系数（