小型真空离子磁控溅射仪

（1）郑州科探仪器设备是高质量定制物理气相沉积（PVD）系统的设计者和制造商，客户服务和售后服务出色。拥有7年以上真空和薄膜沉积技术经验。其研发团队在学界科学家和工程师的支持下，高度积极地开发新设计以满足客户的特殊要求。  

彩色触摸屏：数据输入简单快速。   可控镀膜速率，可得到更精细的晶粒结构。   样品台更换简单：标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。   四、小型溅射仪郑州科探KT-Z1650PVD厂家供应技术参数：

控制方式 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 溅射电源 直流溅射电源 镀膜功能 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 功率 ≤1000W 输出电压电流 电压≤1000V  电流≤1A 真空 机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤5*10^-3Pa 溅射真空 ≤30Pa 挡板类型 电控 真空腔室 石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm 样品台 可旋转φ62  （可安装φ50基底） 样品台转速 8转/分钟 样品溅射源调节距离 40-105mm 真空测量 皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa） 预留真空接口 KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口