等离子刻蚀机清洗机

（2）等离子清洗器使用就是通过等离子体对材料表面的轰击，轻柔地和*地对表面擦洗。   （4）等离子清洗器能够处理多种类型材料：包括塑料、金属、陶瓷以及几何形状各异的表面。
①聚合物的表面清洗   ·等离子表面清洗可去除可能存在于某些加工过的聚合物的污物层，不需要的聚合物表面涂层和弱的边界层。   ·等离子消融作用中使用的惰性气体破坏了聚合物表面的化学键从而导致聚合物表面自由官能团的形成。   ·聚合物表面结构重组能够改进表面的硬度和化学抗性。   ·等离子消融作用破坏了聚合物表面的化学键，从而导致聚合物表面自由官能团的形成。   ·聚合物表面改性能够改变材料表面的化学性质，而材料整体性质不会改变。   ·等离子镀膜是通过过程气体的聚合作用在材料基层表面形成一层薄的等离子涂层。   ·这种聚合物表面涂层能明显地改变表面的渗透性和磨擦性。

供电电源 AC220V（AC110V可选) 工作电流 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) 射频电源功率 150W 射频频率 13.56MHz 频率偏移量 ＜0.2MHz 特性阻抗 50欧姆，手动匹配 耦合方式 电容耦合 真空度 ≤100Pa 腔体材质 高纯石英 腔体容积 2L(内径110MMX深度220MM) 观察窗内径 Φ65 气体流量 10—100ml/min（其他量程可选） 过程控制 过程手动控制 清洗时间 手动开关 开盖方式 铰链侧开式法兰 外形尺寸 400x380x360mm 重量 23Kg 真空室温度 小于65°C 冷却方式 强制风冷 标配 KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。